NEC（6701）は8日、高速検査が可能なレチクル（フォトマスク）検査システム「LM5000」を発売した。0.15ミュールールに対応し、高速で高精度な検査を実現。今後3年間に世界で売上高100億円を目指す。

ここ数年、プロセッサーやメモリは高速化と大容量化が進み電子デバイスの高集積化も図られている。半導体ウエハー上に高集積回路パターンを露光するために使われるレチクルも微細化が加速している。しかし、製造工程にも高い精度の検査装置が求められており、NECは世界初の紫外レーザー光源と2ビームスキャニング方式を採用して新システムを開発した。 　0.15ミュールールで作ったレチクルであれば世界で最速の84分で検査が可能としている。欠陥を検出する画像比較処理部に独自の高速並列画像処理専用プロセッサーIMAPを使った。さらに並列処理アルゴリズムを用いて650GIPSの高速処理も実現した。 　標準価格は6億円。受注から6ヵ月後に納入する。

■URL
・NEC
http://www.nec.co.jp/